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晶圓是半導(dǎo)體和芯片的基本材料，利用微生物在合適的條件下進(jìn)行生物代謝以降解餅干生產(chǎn)廢水中的有機(jī)物，使其穩(wěn)定、無害化的污水處理工藝，可根據(jù)需氧情況分為厭氧處理與好氧處理。 因此晶圓的生產(chǎn)會(huì)直接影響到半導(dǎo)體和芯片的生產(chǎn)。

寶山污水處理工程

而在實(shí)際生產(chǎn)晶圓過程中不僅制造難度高和流程復(fù)雜，而且生產(chǎn)過程伴隨著大量的工業(yè)廢水產(chǎn)生。那么，晶圓制造工廠是如何解決工業(yè)廢水問題的？

晶圓廢水

晶圓制造過程中會(huì)有酸堿廢水、含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水、含銅廢水、有機(jī)廢水等工業(yè)廢水，不同的生產(chǎn)工藝從而產(chǎn)生了不同類型的工業(yè)廢水。而且這些廢水主要涉及的污染物也不同，采用的廢水處理工藝也不同。因此不能采用統(tǒng)一采用相同的污水處理站進(jìn)行處理，需要按照不同的廢水類型進(jìn)行分質(zhì)分流處理。

晶圓廢水處理工藝

根據(jù)工業(yè)廢水的特點(diǎn)采用相對(duì)應(yīng)的處理方法，研磨廢水和含銅廢水都可以采用混凝沉淀法進(jìn)行處理，分別去除廢水中的銅離子和SS。

混凝沉淀法

在混凝沉淀池中加入PAC、PAM，并進(jìn)行攪拌，使PAC、PAM迅速均勻地?cái)U(kuò)散到全部水中以創(chuàng)造良好聚合條件，并借顆粒的布朗運(yùn)動(dòng)和紊動(dòng)水流進(jìn)行凝聚，形成細(xì)小的礬花。由于互相碰撞而聚集或聚合、搭接而形成較大的顆粒或絮狀物，從而使污染物更易于自然下沉而被除去。

《半導(dǎo)體酸性廢水和晶片研磨廢水以及處理的流程和工藝》由天澤環(huán)保編輯 http://www.dilts.com.cn/hyzs/2015.html如需轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處！